Назва послуги/продукції |
Профілювання домішок по глибині, елементний аналіз зразків |
Стислий опис послуги/продукції |
Визначення розподілів домішок в багатошарових, імплантованих та плівкових електропровідних структурах по глибині за допомогою методу вторинної іонної мас-спектрометрії (ВІМС) та мас-спектрометрії вторинних нейтралів (МСВН). Визначення елементного складу на поверхні зразків від водню до урану. МСВН кількісний аналіз елементного складу металевих зразків до концентрацій 1018 см-3. |
1) Наявне обладнання 2) Кадровий потенціал(к-сть) для надання послуги/виробництва продукції |
1. Вторинний іонний мікрозонд ATOMIKA 4000 (Germany), Мас-спектрометр INA-3 (Germany) 2. 1 старший науковий співробітник |
Наявність сертифікації обладнання та устаткування |
Сертифікат на визначення елементного складу. |
Наявність охоронних документів об’єктів інтелектуальної власності, їх чинність |
|
Орієнтовна ціна послуги/продукції |
Договірна |
Які проблеми дана послуга/продукція вирішує |
Чистота та ізотопний склад матеріалів, якість мікроелектронних структур, проблеми екології. |
Які підприємства/галузі можуть бути споживачами даної послуги/продукції |
Підприємства виробники мікроелектронних компонент, гірничозбагачувальні комбінати, фізичні та хімічні інститути, корисні копалини, екологія, медичні металеві імпланти |
Приблизні строки виконання послуги/виготовлення продукції: а) дослідного зразка; б) дослідно-промислової партії; в) впровадження у виробництво. |
а) приблизно 1 день.
|